XPS, ISS, REELS, UPS

XPS menetelmää käytetään kiinteiden näytteiden kemialliseen analyysiin.

XPS:n avulla voidaan tutkia atomien välisiä kemiallisia sidoksia, havaita hyvin pieniä alkuainepitoisuuksia ja profiloida näytteitä syvyyssuunnassa jopa atomikerrosten tarkkuudella.  Myös näytteen kemiallinen kuvantaminen on mahdollista. Hyvä resoluutio, säädeltävä mittausalue (10 um->), kuvantamistoiminto, herkkä syvyysprofilointi ja mahdollisuus mitata eristeitä tekevät tästä laitteistosta hyvin monikäyttöisen. Laitteisto sopii esimerkiksi mikroelektroniikan, hyvin ohuiden kerrosten, jauheiden ja kuitujen analysointiin.

Laitteistoomme on yhdistetty ISS (Ion Scattering Spectroscopy), REELS (Reflected Electron Energy Loss Spectroscopy) ja UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy) menetelmät, mikä mahdollistaa monipuolisen ja tarkan analyysin tekemisen.

Lisätietoja laitteistosta antaa Sari Granroth.